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地面及平台微振动检测评估服务

时间:2023-04-19 浏览:869次

振动敏感设备的通用振动标准在设计用于研究、微电子制造和类似活动的设施时,通常需要具有通用的振动标准(即适用于设备类别和活动),而不是特定于设备的特定项目。本文描述了基于三分之一倍频程振动速度谱的一组标准的推导和使用。本文还讨论了制定设备振动灵敏度测量方法和标准的必要性。呼吁设备制造商和用户分别制定和要求真实准确的规范。随着高科技界进入“纳米时代”,这一点尤为重要;

对放置精密加工设备,精密如激光设备,激光导程测量仪,三坐标设备,半导体设备,光刻机等设备平台或地面,需要进行微振动检测,我们将出具VC-A,VC-B,···等级及波形数据报告;

对机加工,磨床,CNC机床地面也有着隔振设计规范,需要对防止这些设备的地面或平台进行振动测试,根据加工精度,对应不同标准进行判定,判断当前振动是否超标。

无锡某韩国企业,半导体行业光刻机,蚀刻机等精密设备,对设备平台单独进行隔振设计,平台搭建完成后,对隔振平台进行微振动测试,判断是否符合微振动标准。

国内知名大学半导体设备研究院,房间周围有空调设备运行,需要对半导体设备进行微振动测试,看空调运行对平台振动的影响大小,振动是否符合地面微振动标准。

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